產品

二維材料轉移臺2DTrans-ams-03，全電動二維材料轉移臺，是專為解決手動轉移過程 中由手的抖動帶來的這一不良結果，并充分還原手動轉移過程中的手感與 操作方式，給予更好的精確度和掌控性。同時也是一款專為手套箱環境設 計的二維材料轉移臺，用于解決水氧敏感材料的轉移痛點。并且還是一款 專為轉移“魔角”樣品而設計的二維材料轉移臺。

低溫液氮探針臺，真空腔體：真空度優于6×10-3Pa。降溫后優于6×10-4Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；探針控制：標配4個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm，調節精度優于10um。

微型超高真空光柵尺，體積小，結構緊湊；適用于超高真空使用；良好的耐高溫性，最高可達100°C；精度高，絕對精度±3μm（20°C）；采用玻璃柵尺，膨脹系數小，讀數穩定性良好；分辨率高，配合TF15細分接頭，讀數分辨率可達4nm；安裝容許公差大（容許誤差±0.1mm）。

多功能電感耦合等離子體增強化學氣相沉積系統是由我團隊成員自主研發，具有自主知識產權的產品。本系統具有低溫無催化生長石墨烯，也可對石墨烯進行缺陷檢測與修復及各向異性刻蝕等功能，也可用于生長其他二維材料。研究成果發表于各類頂級期刊。

壓電物鏡NF100LA采用壓電陶瓷驅動的納米級物鏡掃描臺，內部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構，確保了掃描臺極佳的運動精度。掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。

壓電陶瓷電機是最近20年發展起來的新技術。使用壓電陶瓷電機的定位產品，結構簡單，尺寸緊湊，可以在數十毫米范圍內實現納米級別的最小步長，從而解決了傳統納米臺行程不足，而微米電動臺分辨精度不高的問題。 卓聚科技率先在國內研發出能產品化的壓電陶瓷電機線性位移平臺和旋轉臺等超精密位移產品，性能指標達到國際先進水平，填補了此領域的國產產品空白。可廣泛應用于半導體芯片、光通訊、生物醫療、電子顯微、先進制造、科學研究等領域。

JS100A是卓聚科技自主開發的全國產化臺階儀。具有高精度，高分解能，搭配一體花崗巖結構，提供 穩定可靠的重復性測量。

室溫探針臺是卓聚科技專為較低預算客戶研發的高可靠性探針臺系統，主要應用在半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。

掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscope，SPM）是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎上發展起來的各種新型探針顯微鏡（原子力顯微鏡，靜電力顯微鏡，磁力顯微鏡，掃描離子電導顯微鏡，掃描電化學顯微鏡等）的統稱，是國際上近年發展起來的表面分析儀器，是綜合運用光電子技術、激光技術、微弱信號檢測技術、精密機械設計和加工、自動控制技術、數字信號處理技術、應用光學技術、計算機高速采集和控制及高分辨圖形處理技術等現代科技成果的光、機、電一體化的高科技產品。

探針臺和低溫系統專注于為半導體領域、微納米科學領域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供先進的半導體及微納米科學儀器，為祖國微納米科學事業的騰飛貢獻一份綿薄之力！

線性壓電位移臺-ML系列 ML-37A 垂直運動方向負載20N，沿運動方向負載4N。

超高真空組件和配件，提供各類高品質的真空零部件和模塊